二氯硅烷
抖化学 / 2023-01-14
二氯硅烷化学品安全技术说明书
第一部分 化学品及企业标识
化学品中文名:二氯硅烷
化学品英文名:dichlorosilane
企业名称:西陇科学股份有限公司
生产企业地址:广东省汕头市潮汕路西陇中街1-3号
邮 编: 515064 传 真: 0754-82481768
企业应急电话:0598-7509639
电子邮件地址:339904316@qq.com
网站地址:https://www.999gou.cn/
第二部分 成分/组成信息
√ 纯品 混合物
有害物成分 浓度 CAS No.
二氯硅烷 4109-96-0
化学特性:二氯硅烷是一种化学物质,化学式SiH2Cl2,为无色气体,熔点:-122℃沸点:8.3℃饱和蒸气压:163.6kPa(20℃)临界压力:4.55Mpa引燃温度:41~47℃爆炸上限(V/V):96.0%爆炸下限(V/V):4.1%溶于
苯、乙醚等多数有机溶剂,有毒腐蚀性气体,具有刺激性臭味。
产品用途:二氯硅烷用于制造半导体,电子工业中多晶硅外延生长以及化学气相淀积二氧化硅和氮化硅,尤其是在外延法工艺中作为硅源。用于甲硅烷基化剂及合成硅的有机化合物。
生产方法:将硅粉和氯化氢按适当比例进行反应,生成二氯二氢硅,经蒸馏分离三氯氢硅,把得到的二氯二氢硅进行精制,制得电子级高纯二氯二氢硅成品。其Si+2HCl→SiH2C12。
第三部分 危险性概述
危险性类别:第2.3类 有毒气体
侵入途径:吸入
健康危害:二氯硅烷对上下呼吸道、皮肤和眼睛有腐蚀性和刺激性。本品遇水或空气中的水份迅速水解形成氯化氢(盐酸)。盐酸可致皮肤灼伤和粘膜刺激。接触后表现有流泪、咳嗽、咳痰、呼吸困难、流涎等。可引起肺炎或肺水肿。眼接触可致灼伤,导致失明。
环境危害:对环境有害。
燃爆危险:易燃,与空气混合能形成爆炸性混合物。遇水剧烈反应,产生有毒气体。
第四部分 急救措施
皮肤接触:立即脱去污染的衣着,用大量流动清水冲洗20~30分钟。如有不适感,就医。
眼睛接触:立即提起眼睑,用大量流动清水或生理盐水彻底冲洗10~15分钟。如有不适感,就医。
吸 入:迅速脱离现场至空气新鲜处。保持呼吸道通畅。如呼吸困难,给输氧。呼吸、心跳停止,立即进行心肺复苏术。就医。
食 入:不会通过该途径接触。
第五部分 消防措施
危险特性:易燃,其蒸气能与空气形成范围广阔的爆炸性混合物,遇热源和明火有燃烧爆炸的危险。与卤素及其它氧化剂剧烈反应。遇水或水蒸气剧烈反应,生成盐酸烟雾。
有害燃烧产物:氯化氢、氧化硅。
灭火方法:用雾状水、泡沫、干粉、二氧化碳灭火。
灭火注意事项及措施:切断气源。若不能切断气源,则不允许熄灭泄漏处的火焰。消防人员必须佩戴空气呼吸器、穿全身防火防毒服,在上风向灭火。尽可能将容器从火场移至空旷处。火场中有大量本品泄漏物时,禁用水、泡沫和酸碱灭火剂。
第六部分 泄漏应急处理
应急行动:消除所有点火源。根据气体的影响区域划定警戒区,无关人员从侧风、上风向撤离至安全区。建议应急处理人员穿内置正压自给式呼吸器的全封闭防化服。如果是液化气体泄漏,还应注意防冻伤。作业时使用的所有设备应接地。禁止接触或跨越泄漏物。尽可能切断泄漏源。使用抗溶性泡沫抑制蒸气。若可能翻转容器,使之逸出气体而非液体。防止气体通过下水道、通风系统和密闭性空间扩散。隔离泄漏区直至气体散尽。
第七部分 操作处置与储存
操作注意事项:严加密闭,提供充分的局部排风和全面通风。操作人员必须经过专门培训,严格遵守操作规程。建议操作人员佩戴导管式防毒面具,穿胶布防毒衣,戴橡胶手套。远离火种、热源,工作场所严禁吸烟。使用防爆型的通风系统和设备。避免产生烟雾。防止气体泄漏到工作场所空气中。避免与氧化剂、碱类、醇类接触。尤其要注意避免与水接触。搬运时轻装轻卸,防止钢瓶及附件破损。配备相应品种和数量的消防器材及泄漏应急处理设备。
储存注意事项:储存于阴凉、通风的有毒气体专用库房。库温不宜超过30℃。远离火种、热源。包装必须密封,切勿受潮。应与氧化剂、碱类、醇类、食用化学品分开存放,切忌混储。采用防爆型照明、通风设施。禁止使用易产生火花的机械设备和工具。储区应备有泄漏应急处理设备。
第八部分 接触控制/个体防护
接触限值:
MAC(mg/m3): 未制定标准 PC-TWA(mg/m3): 未制定标准
PC-STEL(mg/m3): 未制定标准 TLV-C(mg/m3): 未制定标准
TLV-TWA(mg/m3): TLV-STEL(mg/m3):
监测方法:无资料。
工程控制:严加密闭,提供充分的局部排风和全面通风。提供安全淋浴和洗眼设备。
呼吸系统防护:正常工作情况下,佩戴过滤式防毒面具(半面罩)。紧急事态抢救或撤离时,建议佩戴空气呼吸器。
眼睛防护:戴化学安全防护眼镜。
身体防护:穿密闭型防毒服。
手 防 护:戴橡胶手套。
其他防护:工作现场禁止吸烟、进食和饮水。工作完毕,淋浴更衣。进入罐、限制性空间或其它高浓度区作业,须有人监护。
第九部分 理化特性
外观与性状:无色气体,有特征气味。
pH值: 无意义 熔点(℃): -122
沸点(℃): 8.3 相对密度(水=1): 1.26
相对蒸气密度(空气=1): 3.48 饱和蒸气压(kPa): 163.6(20℃)
临界压力(MPa): 无资料 辛醇/水分配系数: 无资料
闪点(℃): -28 引燃温度(℃): 41~47
爆炸下限[%(V/V)]: 4.1 爆炸上限[%(V/V)]: 99.0
溶解性:溶于苯、乙醚、等多数有机溶剂。
主要用途:二氯硅烷用于甲硅烷基化剂,及合成硅的有机化合物。
第十部分 稳定性和反应性
稳定性:稳定
禁配物:强碱、水、醇类、强酸、强氧化剂、卤素。
避免接触的条件:潮湿空气。
聚合危害:不聚合
分解产物:氯化氢、氧化硅。
第十一部分 毒理学资料
急性毒性:
LD50:
LC50:
大鼠吸入LC50(mg/m3): 氯化氢:3124ppm/60m,4701ppm/30m
其它动物吸入LC50:人吸入氯化氢LCL0:1300ppm/30m,3000ppm/5m
刺激性:
家兔经眼:5mg/30s,轻度刺激。
第十二部分 生态学资料
生态毒性:
生物降解性:
非生物降解性:
其他有害作用:无资料。
第十三部分 废弃处置
废弃物性质:危险废物
废弃处置方法:根据国家和地方有关法规的要求处置。或与厂商或制造商联系,确定处置方法。
废弃注意事项:处置前应参阅国家和地方有关法规。
第十四部分 运输信息
危险货物编号:23042
UN编号:2189
包装类别:Ⅱ类包装
包装标志:有毒气体;易燃气体
包装方法:无资料。
运输注意事项:铁路运输时须报铁路局进行试运,试运期为两年。试运结束后,写出试运报告,报铁道部正式公布运输条件。采用刚瓶运输时必须戴好钢瓶上的安全帽。钢瓶一般平放,并应将瓶口朝同一方向,不可交叉;高度不得超过车辆的防护栏板,并用三角木垫卡牢,防止滚动。运输时运输车辆应配备相应品种和数量的消防器材。装运该物品的车辆排气管必须配备阻火装置,禁止使用易产生火花的机械设备和工具装卸。严禁与氧化剂、碱类、醇类、食用化学品、等混装混运。夏季应早晚运输,防止日光曝晒。中途停留时应远离火种、热源。公路运输时要按规定路线行驶,禁止在居民区和人口稠密区停留。铁路运输时要禁止溜放。
第十五部分 法规信息
法规信息:下列法律法规和标准,对化学品的安全使用、储存、运输、装卸、分类和标志等方面均作了相应的规定:
中华人民共和国安全生产法(2002年6月29日第九界全国人大常委会第二十八次会议通过);
中华人民共和国职业病防治法(2001年10月27日第九界全国人大常委会第二十四次会议通过);
中华人民共和国环境保护法(1989年12月26日第七届全国人大常委会第十一次会议通过);
危险化学品安全管理条例(2002年1月9日国务院第52次常务会议通过);
安全生产许可证条例(2004年1月7日国务院第34次常务会议通过);
常用危险化学品的分类及标志(GB 13690-92);
危险化学品名录。
第十六部分 其他信息
填表时间: 2023年1月14日
填表部门: 研发部
数据审核单位:
修改说明: 暂无