四氟甲烷
MSDS安全员 / 2020-09-08
四氟甲烷
四氟甲烷MSDS化学品安全技术说明书
第一部分 化学品及企业标识
化学品中文名：四氟甲烷；制冷剂R-14;四氟化碳
化学品英文名：tetrafluoromethane；carbon tetrafluoride
化学性质：四氟甲烷俗称四氟化碳化学式CF4分子量88是一种卤代烃，它既可以被视为一种卤代烃、卤代甲烷、全氟化碳，也可以被视为一种无机化合物。零下198 °C时，四氟化碳具有单斜的结构，晶格常数为a = 8.597, b= 4.433, c = 8.381 (.10-1 nm), β = 118.73° 。属于完全不燃气体，无色，无味，无嗅气体。不溶于水，常压下25℃时为0.0015，溶于氯仿和苯。本品无毒、不燃。高浓度时有麻醉作用。其高纯气及其配高纯氧气的混合气，是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体，也可作为低温制冷剂、低温绝缘介质。化学稳定性及热稳定性均好，对许多试剂呈惰性，在1000℃下不水解。常温下不与铜、镍和钨反应。由于C-F键的化学稳定性极强,因此以CF4为代表的全氟烃可认为是基本无毒的。
化学用途:四氟甲烷用于致冷剂、溶剂、润滑剂、绝缘材料、红外检波管的冷却剂。也用于制作低温液体压力计或作为惰性气体，或用于各种集成电路的等离子刻蚀工艺和激光气体。是目前微电子工业中用量最大的等离子烛刻气体，其高纯气及四氟化碳高纯气配高纯阳氧气的混合体，可 广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨薄膜材料的烛刻。 在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、气相绝缘、低温制冷、泄漏检验剂、控制宇宙火箭姿态、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。
生产方法:1.由碳与氟反应，或一氧化碳与氟反应，或碳化硅与氟反应，或氟石与石油焦在电炉里反应，或二氟二氯甲烷与氟化氢反应，或四氯化碳与氟化银反应，或四氯化碳与氟化氢反应，都能生成四氟化碳。四氯化碳与氟化氢的反应在填有氢氧化铬的高温镍管中进行，反应后的气体经水洗、碱洗除去酸性气体，再通过冷冻，用硅胶除去气体中的水分，最后经精馏而得成品。
2.预先称取5～10g的碳化硅粉末和0.1g的单质硅粉，置于镍盘中，使硅和碳化硅充分接触后，将镍盘放入蒙乃尔合金反应管中，向反应管内通入氟气，氟气先和单质硅反应，反应放热后，氟开始和碳化硅进行反应，通入等体积的干燥氮气以稀释氟气，使反应继续进行，生成气体通过液氮冷却的镍制捕集器冷凝，然后慢慢地气化后，将其通过装有氢氧化钠溶液的洗气瓶除去四氟化硅，随后通过硅胶和五氧化二磷干燥塔得到最终产品。
3.以活性炭与氟为原料经氟化反应制备。在装有活性炭的反应炉中，缓缓通入高浓氟气，并通过加热器加热、供氟速率和反应炉冷却控制反应温度。产品经除尘，碱洗除去HF、CoF2、SiF4、CO2等杂质、再经脱水可获得含量约为85%的粗品。将粗品引入低温精馏釜中进行间歇粗馏，通过控制精馏温度，除去O2、N2、H2，得到高纯CF4。
企业名称：西陇化工股份有限公司
生产企业地址：广东省汕头市潮汕路西陇中街1-3号
邮 编: 515064 传 真: 0754-82481768
企业应急电话：400-7788689
电子邮件地址：339904316@qq.com
网站地址：https://www.999gou.cn/
技术说明书编码:
第二部分 成分/组成信息
√ 纯品 混合物
有害物成分 浓度 CAS No.
四氟甲烷 75-73-0
第三部分 危险性概述
危险性类别：第2.2类 不燃气体
侵入途径：吸入
健康危害：四氟甲烷高浓度有麻醉作用。接触后可引起头痛、恶心和呕吐。
环境危害：对环境有害。
燃爆危险：四氟甲烷不燃，无特殊燃爆特性。
第四部分 急救措施
皮肤接触：立即脱去污染的衣着，用大量流动清水冲洗20～30分钟。如有不适感，就医。
眼睛接触：立即提起眼睑，用大量流动清水或生理盐水彻底冲洗10～15分钟。如有不适感，就医。
吸 入：迅速脱离现场至空气新鲜处。保持呼吸道通畅。如呼吸困难，给输氧。呼吸、心跳停止，立即进行心肺复苏术。就医。
食 入：不会通过该途径接触。
第五部分 消防措施
危险特性：不燃。若遇高热，容器内压增大，有开裂和爆炸的危险。
有害燃烧产物：无意义。
灭火方法：本品不燃。根据着火原因选择适当灭火剂灭火。
灭火注意事项及措施：消防人员须佩戴防毒面具、穿全身消防服，在上风向灭火。切断气源。喷水冷却容器，可能的话将容器从火场移至空旷处。
第六部分 泄漏应急处理
应急行动：根据气体的影响区域划定警戒区，无关人员从侧风、上风向撤离至安全区。建议应急处理人员戴正压自给式呼吸器，穿一般作业工作服。液化气体泄漏时穿防寒服。禁止接触或跨越泄漏物。尽可能切断泄漏源。喷雾状水抑制蒸气或改变蒸气云流向，避免水流接触泄漏物。禁止用水直接冲击泄漏物或泄漏源。若可能翻转容器，使之逸出气体而非液体。防止气体通过下水道、通风系统和密闭性空间扩散。漏出气允许排入大气中。泄漏场所保持通风。
第七部分 操作处置与储存
操作注意事项：密闭操作，全面通风。操作人员必须经过专门培训，严格遵守操作规程。远离易燃、可燃物。防止气体泄漏到工作场所空气中。避免与氧化剂接触。搬运时轻装轻卸，防止钢瓶及附件破损。配备泄漏应急处理设备。
储存注意事项：储存于阴凉、通风的不燃气体专用库房。远离火种、热源。库温不宜超过30℃。应与易（可）燃物、氧化剂分开存放，切忌混储。储区应备有泄漏应急处理设备。
第八部分 接触控制/个体防护
接触限值：
MAC(mg/m3): 未制定标准 PC-TWA（mg/m3）: 未制定标准
PC-STEL（mg/m3）: 未制定标准 TLV-C(mg/m3): 未制定标准
TLV-TWA(mg/m3): TLV-STEL(mg/m3):
监测方法：无资料。
工程控制：生产过程密闭，全面通风。
呼吸系统防护：一般不需要特殊防护，高浓度接触时可佩戴过滤式防毒面具(半面罩)。
眼睛防护：一般不需特殊防护。
身体防护：穿一般作业工作服。
手 防 护：戴一般作业防护手套。
其他防护：避免高浓度吸入。进入罐、限制性空间或其它高浓度区作业，须有人监护。
第九部分 理化特性
外观与性状：无色无味气体。
pH值: 无意义 熔点(℃): -183.6
沸点(℃): -127.8 相对密度(水=1): 1.89
相对蒸气密度(空气=1): 3.04 饱和蒸气压(kPa): 13.33(-150.7℃)
临界温度(℃): -45.5 临界压力(MPa): 3.74
辛醇/水分配系数: 1.18 闪点(℃): 无意义
引燃温度(℃): 无意义 爆炸下限[％(V/V)]: 无意义
爆炸上限[％(V/V)]: 无意义
溶解性：不溶于水。
主要用途：四氟甲烷用作低温致冷剂及集成电路的等离子干法蚀刻技术。
第十部分 稳定性和反应性
稳定性：稳定
禁配物：强氧化剂、易燃或可燃物、金属等。
避免接触的条件：
聚合危害：不聚合
分解产物：氟化氢。
第十一部分 毒理学资料
急性毒性：
LD50：
LC50：
大鼠吸入LC50(mg/m3): 895000ppm/15M
刺激性：
第十二部分 生态学资料
生态毒性：
生物降解性：
非生物降解性：
其他有害作用：该物质对环境可能有危害，应特别注意对大气的污染。氟代烃在低层大气中比较稳定，而在上层大气中可被能量更大的紫外线分解。
第十三部分 废弃处置
废弃物性质：危险废物
废弃处置方法：根据国家和地方有关法规的要求处置。或与厂商或制造商联系，确定处置方法。
废弃注意事项：把空容器归还厂商。
第十四部分 运输信息
危险货物编号：22033
UN编号：1982
包装类别：Ⅲ类包装
包装标志：不燃气体
包装方法：钢质气瓶。
运输注意事项：采用刚瓶运输时必须戴好钢瓶上的安全帽。钢瓶一般平放，并应将瓶口朝同一方向，不可交叉；高度不得超过车辆的防护栏板，并用三角木垫卡牢，防止滚动。严禁与易燃物或可燃物、氧化剂、等混装混运。夏季应早晚运输，防止日光曝晒。铁路运输时要禁止溜放。
第十五部分 法规信息
法规信息：下列法律法规和标准，对化学品的安全使用、储存、运输、装卸、分类和标志等方面均作了相应的规定：
中华人民共和国安全生产法(2002年6月29日第九界全国人大常委会第二十八次会议通过)；
中华人民共和国职业病防治法(2001年10月27日第九界全国人大常委会第二十四次会议通过)；
中华人民共和国环境保护法(1989年12月26日第七届全国人大常委会第十一次会议通过)；
危险化学品安全管理条例(2002年1月9日国务院第52次常务会议通过)；
安全生产许可证条例(2004年1月7日国务院第34次常务会议通过)；
常用危险化学品的分类及标志(GB 13690-92)；
工作场所有害因素职业接触限值(GBZ 2-2002)；
危险化学品名录；
高毒物品目录。
第十六部分 其他信息
填表时间： 2020年9月8日
填表部门： 研发部
数据审核单位：
修改说明： 暂无
![1-氯甲基-4-氟-1,4-二叠氮双环[2.2.2]辛烷双四氟硼酸盐](images/202308/thumb_img/5130_thumb_G_1691916650431.jpg)
闽ICP备15011996号-4
|
闽公网安备35040002000218号
|
