硅与碳相似，有一系列氢化物，不过由于硅自相结合成链的能力比碳差，生成的氢化物要少得多。到目前为止，已制得的硅烷不到12个，其中熟悉的有SiH4、Si2H6、Si3H8，Si4H10、Si5H12以及Si6H14等，即一硅烷到六硅烷，可以用通式SinH2n＋2（7≥n≥1）来表示。硅烷的结构与烷烃相似。一硅烷又称为甲硅烷。
由于硅不能与H2直接作用，简单的硅烷常用金属硅化物与酸反应来制取。例如：
Mg2Si+4HCl=SiH4↑+2MgCl2
或者用强还原剂LiAlH4还原硅的卤化物。
2Si2Cl6(l)+3LiAlH4(s)=2Si2H6(g)+3LiCl(s)+3AlCl3(s)
硅烷为无色无臭的气体（SiH4和Si2H6）或液体。它们能溶于有机溶剂，熔点、沸点都很低。化学性质比相应的烷烃活泼，表现在以下几方面：
（1）还原性强，能与O2或其它氧化剂猛烈反应。它们在空气中自燃，燃烧时放出大量的热，产物为SiO2。如：
SiH4+2O2=（燃烧）SiO2+2H2O △H°=-1430kJ·mol-1
能与一般氧化剂反应。如：
SiH4+2KMnO4=2MnO2↓+K2SiO3+H2↑+H2O
SiH4+8AgNO3+2H2O=8Ag↓+SiO2↓+8HNO3
前一个反应可用于检验硅烷。
（2）硅烷在纯水中不发生水解作用。但当水中有微量碱存在时，由于碱的催化作用，水解反应即激烈地进行。
SiH4+（n+2）H2O=（碱）SiO2·nH2O↓+4H2↑
（3）所有硅烷的热稳定性都很差。分子量大的稳定性更差。将高硅烷适当地加热，它们即分解为低硅烷。低硅烷（如SiH4）在温度高于773K即分解为单质硅和氢气。
SiH4=（>773K）Si+2H2↑
SiH4被大量地用于制高纯Si。硅的纯度越高，大规模集成电路的性能就越好。
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