这个离子在水溶液内稳定，其他卤化硅沒有这种加合作用。氟化硅之所以能单独地有作用，是由于F⁻离子体积比CI⁻、Br⁻、I⁻离子 小得多的缘故，現在将 最简单的卤化硅的特性常数列于表14-10中。
1.四氟化硅SiF₄
螢石粉和石英砂的混合物与濃酸加热即得四氟化硅，所起反应是先从氟石釋出HF,然后再与石英反应:
CaF₂+H₂SO₄=CaSO₄+2HF; SiO₂+4HF=SiF₄+ 2H₂O
純SiF₄的最簡便制法是加强热于氟硅酸鋇，所发生的反应为
Ba[SiF₆]=BaF₂+SiF₄
四氟化硅是无色而有刺鼻臭味的气体，在湿空气内发烟。在常压 下冷却，四氟化硅气直接凝秸为固体(升华温度，-95°C)，在压力下，它可凝为液体(临界温度，-15°C,临界压力，50大气压)。
这化合物很稳定，干燥时，不腐触玻璃，水可使其分解，形成硅酸凝胶:
SiF₄+4H₂O=H₄SiO₄+4HF
所生成的氩氟酸随即与未水解的氟化硅化合而形成氟硅酸H₂SiF₆。
2.氟硅酸和氟硅酸盐
氫氟酸与氟化硅化合而形成氟硅酸:
2HF+SiF₄=H₂SiF₆
平常制备氟硅酸溶液是将氟化硅气通入水内，滤去所生成的硅酸凝胶:
3SiF₄+4H₂O=H₄SiO₄+2H₂[SiF₆]
加浓硫酸于氟硅酸鋇即得气体无水氟硅酸，但容 易分解为共组分2HF+SiF₄即合在常温，分解度也大于50%，在水溶液内則很稳 定，自由的氢氟酸存在量极微，故不触刻玻璃。13.3% 浪度的溶液 是恒沸点溶液，可加以蒸餾而不改变其浪度。它是一种强酸， 强度远高于氫氟酸，約与硫酸相同。
用氟硅酸分解碳酸盐或在溶液内混合相应的粗分即得氟硅酸盐，碱金屬除鋰和銨外，它們的氟硅酸盐皆比較难溶于水。鋇盐的溶解度更小。其他金屬的氟硅酸盐大都溶于水。这些盐的晶体常有特征的秸晶习性，故有时应用于无机微量分析。
3.四氯化硅SiCl₄
在氯气流内加热硅或二氧化硅与碳的混合物即产生四氯化硅。它是无色而有刺鼻臭味的液体，在潮湿的空气内发生濃烟，因为它与空气中水汽发生水解作用:
SiCl₄+4H₂O=H₄SiO₄+4HCl
若使氨同时蒸发，則所生成的烟雾更为濃厚，因NH₃与HCI合成氯化銨雾，軍舰上常利用这反应作烟幕。四氯化硅与SO₃或P₂O₅反应，除产生二氧化硅外，还形成硅的氯氧化物:
2SiCI₄+2SO₃=Si₂OCl₆+S₂O₅Cl₂
SiCl₄+4SO₃=SiO₂+2S₂O₅Cl₂
而P₂O₅产生POCl₃。
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